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电感测微仪

电感量仪-电感测微仪-电感测量仪
电感测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器,它由主体和测头两部分组成,配上相应的测量装置(例如测量台架等),能够完成各种精密测量。
例如,检查工件的厚度、内径、外径、椭圆度、平行度、直线度、径向跳动等,被广泛应用于精密机械制造业、晶体管和集成电路制造业以及国防、科研、计量部门的精密长度测量。目前,国内常用的电感测微仪有指针式和数字式两种,存在的问题较多,如高精度测量范围小,零位调节不方便、功能单一和通用性差等。它通过编制软件实现仪表的高精度、智能化、多功能化,经过反复的实验与使用,已证明其精度高、操作方便、性能稳定。
(1)测量范围:0~±30μm档及0~±500μm档;
  (2)示值误差:0~土30μm档为0.1μm,0~±500μm档为1μm;
  (3)分辨率:0~±30μm档为0.01μm,0~±500m档为0.1μm.
  (4)极性:当测量值为负时,自动显示“-”;为正时,无极性符号。
该智能电感测微仪的硬件电路主要包括电感式传感器、正弦波振荡器、放大器、相敏检波器及单片机系统。正弦波振荡器为电感式传感器和相敏检波器提供了频率和幅值稳定的激励电压,正弦波振荡器输出的信号加到测量头中由线圈和电位器组成的电感桥路上。工件的微小位移经电感式传感器的测头带动两线圈内衔铁移动,使两线圈内的电感量发生相对的变化。当衔铁处于两线圈的中间位置时,两线圈的电感量相等,电桥平衡。当测头带动衔铁上下移动时,若上线圈的电感量增加,下线圈的电感量则减少;若上线圈的电感量减少,下线圈的电感量则增加。交流阻抗相应地变化,电桥失去平衡从而输出了一个幅值与位移成正比,频率与振荡器频率相同,相位与位移方向相对应的调制信号。此信号经放大,由相敏检波器鉴出极性,得到一个与衔铁位移相对应的直流电压信号,经A/D转换器输入到单片机,经过数据处理进行显示、传输、超差报警、统计分析等。
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