研磨平板等研磨研具的技术要求

研磨平板 研具应满足下述基本要求:

(1) 研具本身要具有适当的表面几何形状。已经说过,研具可以把本身的表面几何形状精度准确的传递给被研工件。所以,不同的工件、不同的精度要求,对研具本身的表面几何形状精度的要求亦不同。例如,精研磨千分尺量面使用的研 其表面的不平度偏差则要求不大于1条光干涉带(相当于0.3微米以内)。

(2) 研具应具有良好的耐磨性为了保持研具本身已具有的表面几何形状精度,研具要具有良好的耐磨性能。例如,为了提高精研磨使用的铸铁研具的耐磨性,通常采用高磷铸铁研具。即在铸造研具时使铁水含有较高的磷元素,以待生成磷共晶并形成无数块理想的耐磨支承点,达到使用中均匀受载磨损保持研具精度之目的。 尤其是研磨平板类的研具应选择高磷铸铁作为研具的材料。

(3) 研具应具有足够的刚度在研磨中,如果研具的刚性不足,受力后会产生变形,甚至会发生断裂。从而破坏了研具表面的几何形状精度,满足不了加工精度的要求。为此,需要把握住研具的报废尺寸和曾强研具的刚性。

(4) 研具应具有合理的形体结构研具的形体结构应根据不同的研磨工艺条件作合理的确定。当研磨内螺纹时,需要采用一组螺纹状研具来完成由粗到精的研磨加工。当研磨凹槽表面时,则采用一组条状研具,进行槽底面的研磨加工。当研磨平面时,经常采用合理的圆盘状或正方形研具并将研具不用部分制成凹下空刀结构,因为这样的形体结构容易获得良好的平面,而长方形研具则较少采用。在研磨工作中,当被研工件不动(如长工件,重工件 ,长方形研磨平板 ),而研具运动时,研具形体结构的确定应在基本满足刚性的前提下,尽可能考虑到便于夹持,而且应体小重量轻,形体结构对称,且保证运动平稳等特点。当研具不动而被研工件运动时,研具形体结构的确定应保证研具在工作中具有足够的刚性和承载稳定等特点。敷砂研磨时,研具的形体结构可采用工作表面开槽式结构,这样做的好处是:沟槽可做为储藏器储藏过剩的磨料,使磨料不致于淤积,影响加工精度。同时也可储藏研磨中产生的切屑,避免划伤工件表面。还有提高切削能力和加快散热等作用。

(5) 嵌砂研具应具有良好的嵌砂性能根据嵌砂工艺的特点,研具所具有的良好的嵌砂性能,不是一般研具能具备的,它是按一定的技术要求特殊加工或经优选得到的。要求研具嵌砂容易、嵌砂牢固及嵌砂均匀,并使之有锋利的切削能力。这种研具的铸造质量较严格,结晶要细密肥粒,组织要均匀,不允许存在缩孔、缩松以及气孔、夹砂、砂眼、断裂等铸造缺陷。 嵌砂研磨平板就是这样的研具之一,一般适用于超精密研磨加工。 

(6)研具在连续使用和室温不断变化的情况下,应具有尺寸稳定和保持不变形的性能。

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