超精密加工技术的应用

 超精密研磨加工技术是现代高技术战争的重要支撑技术,是现代高科技产业和科学技术的发展基础,是现代制造科学的发展方向。以超精密研磨加工技术支撑高性能武器,对一次海湾战争(1992年)、科索沃战争(1996年)、阿富汗战争(1999年)、及二次海湾战争(2003年)的进程及结果发挥了决定性作用。以超精密研磨加工技术为支撑的三代半导体器件,为电子、信息产业的发展奠定了基础。现代科学技术的发展以试验为基础,所需试验仪器和设备几乎无一不需要超精密加工技术的支撑。由宏观制造进入微观制造是未来制造业发展趋势之一,当前超精密加工已进入纳米尺度,纳米制造是超精密加工较前沿课题。世界发达国  家均予以高度重视。各国启动的研究计划包括,2001年美国的NNT(National nanotechnologyinitiave)计划、英国的多学科纳米研究计划IRC(Interdisciplinary research collaboration in nanote-chnology),2002年日本的纳米技术支撑计划。目前的超精密加工,以不改变工件材料物理性能为前提,以获得极 限的形状精度、尺寸精度、表面粗糙度、表面完整性(无或较少的表面损伤,包括微裂纹等缺陷、残余应力、组织变化)为目标。
  超精密加工的研究内容,既影响超精密加工精度的各种因素包括:超精密加工机理、被加工材料、超精密加工设备、超精密加工工具、超精密加工夹具、超精密加工的检测与误差补偿、超精密加工环境:(包括恒温、隔振、洁净控制等)和超精密加工工艺等。一直以来国外学者围绕这些内容展开了研究。  
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